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iPhone|處理器的制造過程是什么?

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追本溯源 , 絕大多數的芯片是從沙子中來的 , 沙子是如何經歷千辛萬苦搖身一變 , 成為價格不菲的芯片呢?第一步:制作晶圓 , 嚴格來說 , 半導體的主要材料是硅元素 , 硅元素在地球上的儲量僅次于氧元素 , 硅元素是制作集成電路最優質的原材料 。 可以說 , 沙漠這種能大量提供沙子的地方 , 已經成為優質硅元素的重要來源 。




    沙子的主要成分是二氧化硅 , 而芯片制造要用到其中的硅元素 , 也就是單晶硅 。 這一步需要將硅元素從沙子中提取出來 。 目前 , 主要的提純手段是將沙子和焦煤放到1800℃的環境中 , 二氧化硅還原成純度為98%的單質硅 , 然后用氯化氫提純出99.99%的多晶硅 , 接著進一步提純99.999999999%的單晶硅 。



  目前 , 制作硅錠的方法主要是直拉法 , 高溫液體的硅元素中加入籽晶 , 提供晶體生長的中心 , 晶體慢慢向上提升 , 同時以一定的速度繞著升軸旋轉 , 單晶硅錠就這樣形成了 。 圓柱體的硅錠還不能用來制作芯片 , 需要將硅錠切割成1mm厚的圓片 , 也就是我們常說的晶圓 。 切割工具是“鉆石鋸” , 價值連城啊 。 下圖顯示了已經切割完成的晶圓 , 晶圓上還有一個缺口:第一是為了定出晶圓的方向 , 第二 , 為了運輸拆卸方便 。




切割出的晶圓表面不光滑 , 需要仔細研磨 , 打磨因切割造成的凹凸不平的表面 。 研磨后 , 還需要用特殊的化學技術進行清洗 , 最后拋光 , 到了這一步 , 晶圓才制作完成 。 前工程的主要流程是在晶圓上制作出帶有電路的芯片 , 其中要用到光刻機 , 世界上最先進的EUV光刻機 , 只有荷蘭的ASML能夠生產 。



   然后將光刻膠涂抹到晶圓上 , 光刻膠是一種感光材料 , 受到光線照射后會發生化學反應 。 將光刻膠滴到晶圓上 , 通過高速旋轉均勻一致的覆蓋到晶圓上 , 呈一層薄膜 。 接下來紫外線照射 , 這一步進入光刻工藝 , 需要用到光刻機 , 是整個CPU制作環節 , 最復雜、成本最高的 。 將紫外線通過預先設計好的電路圖案磨具 , 照射到光刻膠上 , 達到電路圖復制的目的 。



 隨后是光刻膠溶解 , 這一步主要是為了溶解經過紫外線照射的光刻膠 , 未被照射的部分會完整保留下來 。 溶解后完成的晶圓經過沖洗、熱處理后進入下一個環節 。 然后 將晶圓放到特殊的蝕刻槽中 , 通過藥劑的腐蝕作用 , 將暴露在藥劑中的晶圓進行蝕刻 。 蝕刻完成后 , 整個晶圓的首層電路圖就完成了 。 目前 , 大多數的芯片晶體管采用了FINFET工藝 , 單層處理可能無法做出所需要的圖案 , 要經過多次的“涂膠-光刻-溶解” , 才能獲得最終需要的3D晶體管結構 , 如下圖所示 , 顯示了一個晶體管的結構 。

 蝕刻完成的晶圓 , 不具備芯片所需的電氣特性 , 需要強行將離子注入到晶圓內部 , 用于控制內部導電類型 。 經過這一步 , 晶圓內部的某些硅原子替換成了其他院子 , 產生了自由電子和空穴的性能 。 接下來是絕緣層處理 , 到了這一步 , 晶體管的雛形基本完成 , 利用氣相沉積法在硅晶圓的表面沉積一層氧化硅膜 , 形成絕緣層 。 隨后沉淀銅層 , 將銅均勻的沉積到絕緣層 , 下一步可直接在銅層上布線 。 需要再次用到光刻機 , 對銅層進行雕刻 , 形成源極、漏極、柵極 。

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