三氯氫硅是一種無機化合物 ， 化學式為SiHCl3 。
制備
【三氯氫硅屬于什么物 三氯氫硅屬于什么物質】經干燥的硅粉在氯化沸騰爐中與干燥氯化氫氣體在340°C下進行反應 ， 生成的粗三氯氫硅經濕法除塵器、列管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化硅 ， 再經冷凝 ， 得成品 。利用硅鐵和HCl的反應也可以得到產物 。
用途
用作有機硅化合物的原料 ， 也是生產多晶硅的基本原料 。
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