現(xiàn)在光刻機(jī)的原理，不管是DUV，還是EUV，大家都懂的，其實(shí)就是類似于單反相機(jī)，用光線，把掩膜板上的圖形，縮小以后投影到硅片上 。
只不過光刻機(jī)的像素更高，7nm芯片光刻的話 ， 像素要在室1600億像素才行 ， 目前手機(jī)攝像頭像素最高為2億 ， 光刻機(jī)至少是2億像素的800倍 。
DUV、EUV光刻機(jī)，只不過是曝光的光線不同而已，比如DUV采用的是243nm或193nm的深紫外線，而EUV采用的是13.5nm的極紫外線 。
明明這么簡單的原理 ， 為何卻造不出來？這里，其實(shí)關(guān)鍵還是我們?nèi)鄙僖患蚁癫趟具@樣的頂級(jí)光學(xué)設(shè)備廠商 。
在光刻機(jī)里面，有三大核心，不管是DUV ， 還是EUV都是如此 。這三大核心是光源、物鏡系統(tǒng)，工作臺(tái) 。
光源就是193nm或13.5nm的光源 。而物鏡系統(tǒng)就是怎么將這些控制好，進(jìn)行精細(xì)的光刻 。而工作臺(tái)，則是放置晶圓，然后根據(jù)芯片設(shè)計(jì)圖，精細(xì)的控制這些晶圓的移動(dòng)，別刻歪了 。
目前國內(nèi)在光源、工作臺(tái)上 ， 其實(shí)是有一些積累的，所以國產(chǎn)DUV光刻機(jī)是有的，上海微電了就有這種光刻機(jī) 。
但物鏡系統(tǒng)上 ， 就真的被卡住了 。
拿EUV光刻機(jī)來說，使用13.5nm的光線 ， 這種光線波長太短，空氣都穿不透，所以只能在真空中傳播，同時(shí)現(xiàn)實(shí)中沒有任何材料能夠反射它 。
所以要控制這種光線，需要幾十層鉬和硅層層疊疊摞起來 ， 還要在鏡片上鍍膜才能完成，每一層膜都只有納米級(jí)別的厚度，每層誤差不能超過0.01納米 。
這樣的鏡面究竟有多平整？要求是起伏度要低于在地球表面大小的平面上放一根頭發(fā)絲 。
目前國內(nèi)擁有這個(gè)技術(shù)的光學(xué)廠商沒有，甚至全球也就蔡司一家才有，連尼康、索尼這樣的日本頂級(jí)光學(xué)設(shè)備廠商 ， 都做不出來 。
有人稱，從0開始 ， 直到擁有這種光學(xué)技術(shù)，可能比從0開始，制造光刻機(jī)都更難 。因?yàn)楣饪虣C(jī)的核心原理 ， 其實(shí)就是制造出全世界最大、最精細(xì)的單反 ， 核心在于光學(xué)系統(tǒng) 。
所以 ， 如果大家在網(wǎng)上看到什么國產(chǎn)EUV光刻機(jī)有突破了，馬上要推出了之類的新聞，先看看突破的是光源，還是工作臺(tái)，或者是光學(xué)設(shè)備 。
【euv光刻機(jī)原理 ：我們?yōu)楹卧觳怀鯡UV光刻機(jī)？核心是缺少蔡司這樣的光學(xué)廠商】如果光學(xué)設(shè)備沒有突破，那么就是假的，因?yàn)槟壳皣a(chǎn)連DUV的物鏡系統(tǒng)都搞不定 ， 需要進(jìn)口，EUV就更不要說了，這種技術(shù)沒有捷徑 ， 也不可能彎道超車，只有一步一步來的，類似于建房子 ， 第1層都沒建好，你說直接從空中開始，修第30層 ， 誰信？
