1、硅的氫化物是指含有硅元素和氫元素兩種元素的化合物 。硅的氫化物有硅烷、 乙硅烷等；
2、硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱，包括甲硅烷、乙硅烷和一些高級的硅氫化合物 。目前應用最多的是甲硅烷 。一般把甲硅烷簡稱做硅烷 。硅烷作為一種提供硅組分的氣體源 ， 可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物 。因其高純度和能實現精細控制，已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體；
【硅的氫化物是什么←_←】3、乙硅烷是一種無機化合物，在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體 。它具有與硅烷類似的化學性質，但其反應性比硅烷更強 。它比硅烷更不穩定 ， 在室溫下會緩慢分解成硅烷和氫 。
