1、掃描電子顯微鏡通過用聚焦電子束掃描樣品的表面來產生樣品表面的圖像 。
2、電子與樣品中的原子相互作用 ， 產生包含關于樣品的表面測繪學形貌和組成的信息的各種信號 。電子束通常以光柵掃描圖案掃描 ， 并且光束的位置與檢測到的信號組合以產生圖像 。
3、掃描電子顯微鏡可以實現分辨率優于1納米 。樣品可以在高真空 ， 低真空 ， 濕條件（用環境掃描電子顯微鏡）以及寬范圍的低溫或高溫下觀察到 。
【電子顯微鏡原理 場發射掃描電子顯微鏡原理】4、最常見的掃描電子顯微鏡模式是檢測由電子束激發的原子發射的二次電子 。可以檢測的二次電子的數量 ， 取決于樣品測繪學形貌 ， 以及取決于其他因素 。
5、通過掃描樣品并使用特殊檢測器收集被發射的二次電子 ， 創建了顯示表面的形貌的圖像 。它還可能產生樣品表面的高分辨率圖像 ， 且圖像呈三維 ， 鑒定樣品的表面結構 。
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