1. 首頁 > 生活百科 > >

EUV光源再突破，固體脈沖激光等離子體EUV光源，世界領先

阿斯麥爾脈沖等離子體

EUV光源再突破，固體脈沖激光等離子體EUV光源，世界領先

文章圖片

EUV光源再突破，固體脈沖激光等離子體EUV光源，世界領先
中國在高端EUV光刻機光源領域取得了重大突破 ， 中國科學院上海光學精密機械研究所宣布 ， 其某個科研團隊研發的固體脈沖激光驅動等離子體極紫外光源“LPP-EUV” ， 實現3.42%的能量轉換效率 ， 這一數據不僅超越荷蘭、瑞士等國際團隊 ， 更標志著中國在EUV光源領域突破性進展 。

傳統EUV光刻機采用二氧化碳激光器驅動錫靶產生等離子體 ， 進而發射13.5nm極紫外光 。 ASML設備雖能實現5%以上的轉換效率 ， 但其二氧化碳激光系統體積龐大、電光轉換效率不足5% ， 且核心技術被美國Cymer公司壟斷 。 上海光機所林楠團隊另辟蹊徑 ， 采用1μm波長固體脈沖激光器作為驅動源 ， 在實驗室平臺實現3.42%的轉換效率 ， 達到商用光源5.5%標準的一半 。
固體激光器體積僅為二氧化碳激光器的1/10 ， 電光轉換效率高達20% ， 且波長1μm更易被錫靶吸收 。 研究團隊估算 ， 其理論最大轉換效率可達6% ， 若實現商業化 ， 可將EUV光刻機功耗降低90% ， 徹底打破現有技術體系的成本結構 。

中國科研團隊正以“三線并進”策略展開 。 LPP路線對標ASML ， 上海微電子通過優化錫靶轟擊技術 ， 將光源收集效率提升至15% ， 解決ASML耗時15年攻克的鏡面污染難題 。 DPP路線彎道超車 ， 哈工大研發的放電等離子體技術 ， 能量轉換效率達4.5% ， 是ASML方案的2.25倍 ， 設備體積縮小40% 。 FEL路線未來布局 。 上海同步輻射加速器 ， 研發出直徑28米的小型化自由電子激光裝置 ， 輸出功率達250W 。
盡管3.42%的轉換效率尚未達到商用標準 ， 但其技術路徑已獲產業界認可 。 當光源效率突破4%時 ， 固體激光驅動系統即可支撐EUV曝光驗證和掩模檢查 。 華為反射式物鏡專利采用多層膜自適應補償技術 ， 將波前畸變控制在λ/50以內 ， 解決柯勒照明均勻性難題 ， 為光源系統與光學系統的協同突破奠定基礎 。

ASML首席財務官戴厚杰在投資者電話會議中承認：“中國確實有可能制造出EUV光源 。 當中國團隊用固體激光技術繞過美國Cymer公司的專利壁壘時 ， ASML不得不調整戰略 。 從全面禁售轉向提議在華設立維修中心 ， 試圖以服務換市場 。
【EUV光源再突破，固體脈沖激光等離子體EUV光源，世界領先】當中國自主高端EUV光刻機橫空問世之時 ， 西方圍堵我們的最后一堵圍墻將瞬間崩塌 。

    推薦閱讀