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作為全球光刻機巨頭 , ASML的一言一行 , 都倍受關注 , 畢竟它是全球唯一能夠制造EUV光刻機的廠商 , 其光刻機份額 , 更是超過85% 。
可以說 , 如果ASML不誰給供應光刻機了 , 那么誰的芯片技術 , 將大受影響 , 特別是7nm以下芯片 , 都離不開ASML的EUV光刻機 。
而近日 , ASML CEO富凱 , 面對媒體采訪時表示 , 中國已經研發出了一些自主可控的光刻設備 , 雖然在趕超ASML的技術方面還有很長的路要走 , 但是他認為 , 無論你怎么限制都沒有用 , 反而“你試圖阻止的人會更加努力地取得成功” 。
其實他的的說法 , 就是直指美國的禁令 , 他的意思是 , 越是限制 , 中國在光刻機技術上發展的可能就會越快 , 設置的障礙越多 , 就會讓對方越努力 。
【ASML CEO:中國已研發出自主可控的光刻機】
對ASML而言 , 當然是非常擔心中國研發出自己的光刻機的 。
一方面是中國是ASML最大的市場之一 , 一旦中國不買ASML的光刻機 , 那么ASML是直接受影響的 , 所以ASML當然希望自己的光刻機 , 能夠敞開供應給中國 , 賺到手里的才是錢 。
第二則是中國一旦研發出光刻機 , 那么將打破整個光刻機格局 , ASML想一家獨大就難了 , 要知道團結中國周邊可是有很多國家的 , 一旦中國有自主光刻機 , 這些國家肯定會找中國買 , 那ASML怎么辦?
那么中國能不能研發出自己的光刻機?事實上 , 中國早就研發出來了 , 不過只是DUV光刻機 , 這種光刻機 , 還達不到浸潤式的水平 。
去年的數據顯示 , 中國有了氟化氬光刻機 , 分辨率小于等于65nm , 套刻精度小于等于8nm 。
而根據光刻機與芯片工藝的對應關系 , 這種普通的DUV光刻機 , 實際上最多也就生產65nm左右的芯片 , 就算多重曝光 , 也可能在28nm左右 。 所以ASML才會說與ASML還有較遠的差距 。
但是ASML明白 , 只要中國肯研發 , 加倍努力 , 并不是研發不出來的 , 畢竟光刻機也是人造的 , 不是神造的 , ASML再封鎖 , 美國再封鎖 , 總會被研發出來的 。
特別是現在ASML的EUV光刻機 , 也陷入死胡同的情況之下 , ASML在原地踏步 , 中國在后面追 , 追上的可能性還是非常大的 , 所以ASML當然很擔心 , 越來越希望美國別禁了 , 這樣ASML就可以大量出貨 , 一是自己賺錢 , 二是說不定還能夠阻擋中國研發 , 畢竟能夠買到了 , 情況又不一樣了嘛 。
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