【sciencenet.cn,刻蝕】中國中微造出3nm刻蝕機 ， 與荷蘭ASML光刻機還有多大差距？
科學的東西太尖端、繞口令似的解釋 ， 咱也聽不明白 ， 打個比方跟您說吧 。光刻跟蝕刻是兩種不同領(lǐng)域里使用的技術(shù) ， 光刻機和蝕刻機就是那不同領(lǐng)域里進行作業(yè)的工具 ， 雖然他們進行的是同一個產(chǎn)品作業(yè) ， 但工序不一樣 。就像做一件衣服 ， 光刻是在設(shè)計樣式、尺寸并繪制圖形 ， 蝕刻是進行分割、裁剪 。一件衣服究竟怎么樣 ， 不僅看設(shè)計的好不好 ， 線條劃沒劃歪；也要看分割得好不好 ， 剪沒剪走形 。
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