什么是MEMS傳感器？
什么是MEMS傳感器？在微電子技術(shù)高速發(fā)展的浪潮中，MENS傳感器的應(yīng)用也廣泛起來(lái) 。例如氣體成分檢測(cè)、3D定位技術(shù)、特殊環(huán)境的參數(shù)監(jiān)測(cè)等應(yīng)用 。MEMS是微型電子機(jī)械系統(tǒng)，MEMS傳感器采用微機(jī)械加工技術(shù)制造的新型傳感器，屬于MEMS器件的重要分支 。依賴MEMS技術(shù)傳感器的技術(shù)特點(diǎn)1、微型化 ，其芯片尺寸基本為納米與微米級(jí)別 。
2、多樣化，主要在其工藝、應(yīng)用領(lǐng)域及材料方面多樣化 。3、集成化，在功能、敏感方向不同的多個(gè)傳感器集成形成陣列與系統(tǒng) 。4、批量化，適合大批量生產(chǎn)，成本不高 。5、尺寸相應(yīng)現(xiàn)象，由于尺寸縮小也會(huì)有些影響，如尺寸效應(yīng)、微摩擦學(xué)、微構(gòu)造學(xué)、微熱力學(xué)等 。一些典型的MEMS傳感器1、MEMS壓力傳感器 。其發(fā)展迅速，應(yīng)用廣泛 。
【奇石樂(lè)的加速度傳感器,mems加速度傳感器】基本上它的敏感元件為硅膜片，根據(jù)機(jī)理不同可將MEMS壓力傳感器分為三種形式，分別是壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳感器 。2、MEMS加速度傳感器 。根據(jù)原理可分壓阻式、壓電式、電容式、熱電偶式、光波導(dǎo)式等MEMS加速度傳感器，可應(yīng)用最為廣泛的還屬于電容式加速度傳感器 。3、MEMS陀螺儀 。
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