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之前的舊EUV光刻機 , 其NA=0.33 , 也稱之為LOW NA EUV , 用于制造7nm以下芯片 , 其分辨率是13nm , 理論上可以制造7-2nm的芯片
后來ASML推出了HIGH NA EUV , 也就是NA=0.55的EUV光刻機 , NA從0.33提升了40% , 變成了0.55 , 分辨率提升至了8nm , 理論上可以用于2nm及后續芯片的制造 。
而相比于NA=0.33的EUV , High na euv的價格貴了很多 , 從曾經的10億元人民幣 , 變成了30億元 。
所以臺積電表示 , 2nm時肯定不買 , 甚至說1.4nm時 , 也應該也不會買 , 臺積電會想辦法進行多重曝光 , 用LOW NA EUV , 也能制造出1.4nm芯片來 。
為何臺積電不買賬?就是因為太貴了啊 , 30億一臺 , 臺積電現有EUV光刻機上百臺 , 如果全換成新的 , 需要3000多億 , 這怎么玩?所以臺積電要用舊的光刻機 , 想辦法解決技術問題 。
而一旦臺積電不買單 , ASML也就有點慌 , 因為大客戶不要了 , 這光刻機賣給誰?
所以ASML自從HIGH NA EUV推出以來 , 就一直努力的找買家 , 比如之前賣給了英特爾幾臺 , 但英特爾也不要太多 。
近日 , ASML終于找到了大買家 , 那就是存儲芯片廠商 , 比如SK海力士、三星 。
ASML已經交付給了SK海力士一臺Twinscan NXE:5200B , 這是NA=0.55的高數值孔徑 EUV 光刻系統 , 用于SK海力士制造DRAM HBM等芯片 。
另外ASML也交付給了三星EXE:5000 High-NA EUV , 不是用于2nm芯片制造 , 也是用于內存芯片 , 以及HBM這些 。
ASML預計 , 接下來隨著DRAM的高速發展 , 特別是HBM的高速發展 , 存儲芯片廠商有更高的工藝要求 , 所以HIGH NA EUV可能會被存儲芯片廠商 , 大規模采購 。
【太貴了,臺積電不買新EUV光刻機?但ASML找到了新買家】那么ASML的業績 , 就不會因為新的EUV光刻機沒人買而受到影響了 , 反而會因為HIGH NA EUV的熱銷 , 而業績大漲 。
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