有些真空工藝會產(chǎn)生大量的灰塵，如果灰塵隨被抽氣體進入油封真空泵內(nèi)混在泵油中，會像研磨劑一樣加速泵腔內(nèi)零件的磨損，對泵轉(zhuǎn)子和泵腔造成磨損和破壞，堵塞油路或使泵無法運行，如果灰塵進入真空閥門則會使密封失效而泄漏，因此塵埃的防止和過濾己成為延長真空系統(tǒng)的使用壽命，提高生產(chǎn)率的關(guān)鍵問題，在有塵埃的真空系統(tǒng)中，必須采用塵埃過濾器 。
真空過濾裝置在灰塵量較少時，可以由泵油過濾系統(tǒng)濾除，但灰塵量較大時，為防止真空泵的損壞，保證真空泵的正常運轉(zhuǎn)必須使用除塵器 。如圖33所示，常用塵埃過濾方式有以下幾種：
（1）旋風離心式（見圖33a） 。進氣口與筒體成偏心放置，塵埃隨氣流旋轉(zhuǎn)，因離心力作用而沉降在過濾器的底部 。
（2）油淋式（見圖33b） 。在油泵的作用下，使真空泵油從除塵器的頂部高速噴下，油霧與上升的氣流相互作用吸附，混在氣流中的塵埃與油一起沉降至油池 。
【常用的真空系統(tǒng)除塵過濾方式及過濾裝置】（3）油濕介質(zhì)粘附式（見圖33c） 。塵埃在氣流作用下撞擊用真空泵油浸濕的介質(zhì)表面而被粘附，常用介質(zhì)有環(huán)狀或顆粒狀陶瓷、金屬絲條等 。
（4）介質(zhì)阻擋式（圖33d） 。利用介質(zhì)的機械阻擋作用過濾塵埃，常用介質(zhì)有金屬絲網(wǎng)、天然或合成纖維、多孔金屬、多孔塑料等 。
（5）靜電吸附式（見圖33e） 。利用真空中氣輝光放電形成等離子體，塵埃在等離子體中附著電荷，在電場力作用下被驅(qū)向電極表面而被捕集 。
（6）混合式 。將以上幾種過濾形式進行組合形成混合的過濾形式 。
總之，過濾器的型式和結(jié)構(gòu)尺寸的選擇主要根據(jù)以下因素考慮：所要求過濾的最大塵埃直徑、過濾效率、容塵量、通導(dǎo)能力、工作真空度、操作裝拆清洗方便等 。
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