【icrd和華虹集團的關系】icrd是華虹集團旗下的，icrd是指上海集成電路研發中心，其采用北方華創NMC612D電感耦合等離子體刻蝕機等國產設備，完成了14nm鰭式晶體管自對準雙重圖形相關工藝的自主開發 ， 各項工藝指標均已達到量產要求，在集成電路14nm核心工藝技術上取得了重大進展 。上海華虹（集團）有限公司（簡稱“華虹集團”）是現代化的以集成電路芯片設計制造為核心、以提供系統集成方案為目的的企業集團公司 。其經營范圍有芯片制造、芯片設計、系統及應用服務、工藝研發等 。
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