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國產(chǎn)光刻機最新進展 國產(chǎn)光刻機可以達到多少納米

光刻機是生產(chǎn)制造芯片的必要設(shè)備,美一直都在限制ASML出貨先進的EUV光刻機,由于光刻機過于復雜,ASML曾表示,給中國圖紙其也不能復制出來 。
因為ASML的光刻機融合了全球超40個國家的尖端技術(shù),供應商更是超過了數(shù)百家 。
但實際情況并非ASML所說的那么難,全球四大光刻機廠商中,上海微電子就是其中之一,而其研發(fā)制造的后道封裝光刻機,占領(lǐng)了全球四成的市場 。

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去年末,上海方面對外宣布,國產(chǎn)90nm光刻機取得突破;上海微電子28nm精度的光刻機取得技術(shù)驗證 。
專業(yè)人士表示,在多次曝光工藝下,90nm光刻機可將芯片制程縮小至7nm,而ASML DUV光刻機的精度為38nm,多次曝光后,可將芯片制程縮小至7nm 。
上海微電子宣布國產(chǎn)光刻機取得突破的消息后,ASML突然出現(xiàn)了一個奇怪的現(xiàn)象,那就是堅持向國內(nèi)出貨,不聽美勸 。
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例如,美出臺政策限制相關(guān)芯片企業(yè)出貨,但ASML表示該政策對光刻機出貨的影響是有限的,因為ASML光刻機中使用美元器件的數(shù)量是有限的 。
隨后美又對ASML進行游說,希望其收緊國際主流光刻機的出貨范圍,結(jié)果直接被ASML給拒絕了 。
無奈的美,其聯(lián)合日荷簽訂了三方協(xié)議,通過荷蘭限制ASML出貨先進光刻機 。
結(jié)果ASML不僅率先透露的三方協(xié)議達成的消息,還表示立法落地需要時間,預計6月份可能開始,這無疑是提醒廠商下單 。
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另外,ASML還通過官網(wǎng)表示,三方協(xié)議限制了2000i及后續(xù)型號的DUV光刻機,1980Di型號的DUV光刻機將會持續(xù)出貨,其在多重曝光工藝下,可將芯片制程縮小至7nm 。
ASML總裁在參加中國高層發(fā)展論壇時強調(diào),如果不是瓦森納協(xié)定,中國將會成為EUV光刻機最大的市場 。
也就是說,ASML不再夸下??谡f中國造不出先進的光刻機,而是堅持向國內(nèi)出貨 。
ASML之所以態(tài)度大變,就是國內(nèi)光刻機突破速度超出預期,ASML擔憂徹底失去國內(nèi)市場 。
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要知道,國內(nèi)市場是全球最大的芯片消費市場,每年進口芯片總額超過4000億美元,芯片規(guī)則修改,更多芯片開始在國內(nèi)制造,目標是七成芯片在國內(nèi)生產(chǎn) 。
巨大的芯片生產(chǎn)需求,自然就需要更多的光刻機,ASML不堅持出貨,就會失去大量的市場 。
另外,國內(nèi)光刻機等技術(shù)進步很快,90nm已經(jīng)取得突破,28nm精度的光刻機也得到技術(shù)驗證,華為、西工大等還全力突破更先進的光源技術(shù) 。
這意味著ASML在國內(nèi)的必然會一步步被蠶食 。
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更何況,硅芯片已經(jīng)將近極限,越來越多的廠商都在研發(fā)量子芯片、光電芯片等,荷蘭也投資11億歐元研發(fā)光電芯片技術(shù) 。
但光電芯片和量子芯片技術(shù),國內(nèi)目前都有領(lǐng)先優(yōu)勢,還能夠繞開ASML的光刻機 。
【國產(chǎn)光刻機最新進展 國產(chǎn)光刻機可以達到多少納米】總結(jié)一下就是,國內(nèi)光刻機突破速度很快,量子芯片和光電芯片時代又在到來,ASML為了市場份額,不得不堅持出貨 。

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