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光刻機(jī)|沒有技術(shù)封鎖,為何日本尼康、佳能也造不出EUV光刻機(jī)?

光刻機(jī)|沒有技術(shù)封鎖,為何日本尼康、佳能也造不出EUV光刻機(jī)?

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光刻機(jī)|沒有技術(shù)封鎖,為何日本尼康、佳能也造不出EUV光刻機(jī)?

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目前全球唯一能夠制造EUV光刻機(jī)的廠商 , 只有一家 , 那就是荷蘭的ASML 。
但事實上 , 全球的光刻機(jī)廠商不只ASML一家 , 不說中國的光刻機(jī)廠商 , 僅日本就有兩家 , 分別是尼康、佳能 。
這兩家還是大名鼎鼎 , 在ASML剛誕生時 , 尼康、佳能可是大哥 , ASML是小弟 , 只能仰望著尼康、佳能 。

直到后來 , ASML在臺積電的啟發(fā)下 , 研制出了以水為介質(zhì)的浸潤式光刻機(jī) , 才一路崛起 , 最后把尼康、佳能踩在了腳下 。
后來ASML搞出了EUV光刻機(jī)后 , 尼康、佳能也就只搞些中、低端光刻機(jī) , 不再與ASML爭鋒了 。
這讓很多人很奇怪 , 論技術(shù)實力 , 資金實力 , 尼康、佳能不會比ASML差 , 更關(guān)鍵的是尼康、佳能也沒有被技術(shù)封鎖 , 為何就是搞不出EUV光刻機(jī)呢?

其實主要有兩個原因 , 一個是事實上的技術(shù)壟斷 。
雖然尼康、佳能沒有被技術(shù)封鎖 , 似乎想要買什么設(shè)備、需要什么樣的技術(shù) , 都可以得到 , 但ASML早做了大量的準(zhǔn)備 , 將蔡司、Cymer、TRUMPF這些核心技術(shù)公司 , 通過合作、獨(dú)家供應(yīng) , 成立科技機(jī)構(gòu)等手段 , 捆綁在了一起 。
尼康、佳能其實很難拿到蔡司、Cymer、TRUMPF公司的技術(shù)等 , 這就造成了事實上的壟斷 , 尼康、佳能也沒辦法 , 畢竟EUV光刻機(jī) , 不是一家廠商或者幾家廠商可以搞定 。

另外一個是市場大小決定的 。
EUV光刻機(jī)看起來非常重要 , 但其實際市場需求并不大 , 以ASML為例 , 2021年也僅賣出42臺EUV光刻機(jī) , 從EUV光刻機(jī)推出到2021年底 , 已經(jīng)有7年 , 但一共也只賣出132臺EUV光刻機(jī) 。
市場需求就在這里 , 決定了整個EUV光刻機(jī)的利潤也只有這么大 , 一這ASML還能夠活得滋潤 , 但如果尼康、佳能都搞出了EUV光刻機(jī) , 三家廠商競爭 , 估計大家都賺不到什么錢了 。

所以對于尼康、佳能而言 , 研發(fā)出EUV光刻機(jī) , 也并不能帶來多少利潤 , 反而承擔(dān)的風(fēng)險特別大 , 比如投入了巨額資金 , 又研發(fā)失敗怎么辦 , 研發(fā)出來了 , 賣不出多少臺 , 虧本怎么辦?
【光刻機(jī)|沒有技術(shù)封鎖,為何日本尼康、佳能也造不出EUV光刻機(jī)?】畢竟尼康、佳能所處的環(huán)境不一樣 , 日本作為美國的小弟 , EUV光刻機(jī)不會被卡 , 所以不像中國廠商 , 必須自研才有出路 , 對于尼康、佳能而言 , 則不一樣了 。
所以我們在努力的研發(fā)光刻機(jī) , 一定要搞出EUV光刻機(jī) , 但對于尼康、佳能而言 , 則沒有那么迫切 , 所以也沒有下定決心去研發(fā) 。

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