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智能手機|國產芯片領域“破冰”,自主攻克重要芯片材料,技術水平趕超美日

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一顆智能手機的SOC芯片只有指甲蓋大小 , 看起來毫不起眼 。 但是想要造出一顆高端芯片 , 背后至少是百億美元級別的投資 , 從研發到生產落地 , 再到上市銷售 , 需要經歷一系列的流程 。
而在芯片制造過程中 , 涉及到各種各樣的材料更是數量繁多 。 而國內科研人員攻堅克難 , 終于在光刻膠方面實現破冰 , 研制出“光敏聚酰亞胺光刻膠” 。
這是怎樣的光刻膠產品呢?國產光刻膠處于什么水平?

國產光刻膠破冰光刻膠對于芯片制造的成本并不是很高 , 和光刻機 , 刻蝕機等半導體設備相比 , 光刻膠的成本占光刻工藝不到一成的成本 。
可是如果沒有光刻膠 , 光刻膠曝光的圖形便無法顯影的晶圓表面 , 刻蝕機更加無法進行芯片線路的刻蝕 。 因為光刻膠可以起到保護襯底 , 形成曝光圖形的媒介作用 。

但是光刻膠技術主要掌握在日本手中 , 相關的產業鏈被日本所壟斷 。 不管是低端的g線 , i線光刻膠 , 還是高端的EUV光刻膠 , 日本企業提供的產品均位居一線水準 , 被臺積電 , 三星等爭相采購 。
國內發展芯片制造同樣離不開對外進口光刻膠 , 為了實現自主產業鏈的持續發展 , 攻克光刻膠核心技術是件要緊事 。 值得一提的是 , 國產芯片在光刻膠領域成功破冰 , 自主攻克了重要芯片材料——光敏聚酰亞胺光刻膠 。
根據光明日報消息報道 , 我國科研人員滕超教授及其團隊在2015年定下研究計劃 , 瞄準光電顯示和半導體領域所需的光刻膠技術展開破冰 。 由于大量的核心技術掌握在日本手中 , 可參考的資料并不多 , 所以從一開始滕超就面臨重重困難 。 包括在進行LCD間隔物微球項目時 , 遇上了課題組人員短缺 , 很多重要的實驗數據需要滕超反復驗證 , 不論大小事務幾乎都是親力親為 。

甚至為了更好地做實驗 , 在辦公室住了一年之久 。 功夫不負有心人 , 滕超經過7年的刻苦研發 , 在自研設計算法 , 修正測試數據以及大量實驗論證中 , 終于完成了最后一步的突破 。
2022年6月份 , 滕超成功研制出光敏聚酰亞胺光刻膠 。 這是一種新型光刻膠材料 , 光敏聚酰亞胺光刻膠不僅能滿足光刻作用 , 而且在介電領域也是很好的材料 。

主要優勢體現在縮短工序時間 , 提高生產效率 , 為國產芯片產業鏈的發展提供更多的自主性保證 , 甚至技術水平已經趕超美日 。 同類產品中 , 光敏聚酰亞胺光刻膠發揮出的性能不弱于國外產品 。
國產光刻膠處于什么水平?芯片種類繁多 , 每一種芯片在制造過程中 , 幾乎都會經歷光刻工藝 。 也就是通過光刻機 , 把設計好的芯片線路圖曝光在涂抹光刻膠的晶圓表面 。 根據芯片制造工藝以及種類的不同 , 所需要用上的光刻膠品類也非常豐富 。

主流的光刻膠產品就包括浸沒式光刻膠 , KrF正負型光刻膠以及ArF光刻膠等等 。 日本在光刻膠領域起步較早 , 積累了大量的核心技術 , 形成了完備的知識專利產權 , 所以想要打破壟斷是需要時間的 。

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