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短短3年，日媒改口了：中國(guó)將成為第三個(gè)能自己造光刻機(jī)的國(guó)家

芯片光刻機(jī)

短短3年，日媒改口了：中國(guó)將成為第三個(gè)能自己造光刻機(jī)的國(guó)家

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短短3年，日媒改口了：中國(guó)將成為第三個(gè)能自己造光刻機(jī)的國(guó)家

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光刻機(jī)這玩意兒被稱(chēng)作“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠” ， 所以臺(tái)積電、三星、英特爾依賴(lài)荷蘭ASML的光刻機(jī)成為了世界頂級(jí)芯片供應(yīng)商 ， 與此同時(shí) ， 芯片也成為了美國(guó)制裁我們的“刀” 。 而我們自己也常常陷入一個(gè)思維定式：追趕ASML ， 造出最先進(jìn)的EUV光刻機(jī) ， 才算成功 。
這種“對(duì)標(biāo)” ， 某種程度上遮蔽了中國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的真實(shí)全景 。



事實(shí)上 ， 中國(guó)的策略遠(yuǎn)比想象中靈活和務(wù)實(shí) ， 走的是一條“多點(diǎn)突破、組合前進(jìn)”的路線 。 比如 ， 主攻DUV（深紫外）光刻機(jī) ， 這是當(dāng)前成熟制程芯片的絕對(duì)主力 。 上海微電子裝備的浸沒(méi)式光刻機(jī)不斷攻關(guān) ， 從90納米向28納米穩(wěn)步邁進(jìn) 。 別小看這個(gè)“成熟制程” ， 它滿足了全球70%以上的芯片需求 ， 是產(chǎn)業(yè)的壓艙石 。
而在前沿探索方面 ， 在追逐EUV的同時(shí) ， 中國(guó)也在布局可能“換道超車(chē)”的技術(shù) 。 比如納米壓印光刻 ， 國(guó)內(nèi)企業(yè)璞璘科技的設(shè)備線寬已能做到小于10納米 ， 對(duì)應(yīng)傳統(tǒng)5納米制程 ， 并且已經(jīng)交付量產(chǎn) 。 還有電子束光刻 ， 浙江大學(xué)的“羲之”商業(yè)機(jī)精度達(dá)到0.6納米 ， 已有成品機(jī)進(jìn)入測(cè)試 。



2023年 ， 日本將23種半導(dǎo)體制造設(shè)備納入出口管制 ， 試圖借勢(shì)美國(guó)對(duì)中國(guó)形成技術(shù)封鎖 。 結(jié)果就是 ， 中國(guó)光刻膠的國(guó)產(chǎn)化率從2020年的15% ， 一路攀升至2024年的32% ， 2025年有望突破40% 。 南大光電的ArF光刻膠、彤程新材的KrF膠 ， 正在一步步打破日本企業(yè)的壟斷 。 當(dāng)“斷供”的威脅倒逼出“替代”的能力時(shí) ， 封鎖者的籌碼就開(kāi)始貶值了 。
如今 ， 日媒的報(bào)道口風(fēng)已變 ， 短短三年 ， 日本方面改口了！甚至出現(xiàn)了“日本愿意賣(mài)”的聲音 。 這背后的潛臺(tái)詞或許是：與其失去整個(gè)市場(chǎng) ， 不如在還有影響力的時(shí)候?qū)で蠛献?。



三年前 ， 日本光刻膠巨頭JSR的CEO埃里克·約翰遜曾斷言：“即使中國(guó)拿到一份關(guān)于化學(xué)成分細(xì)節(jié)的論文 ， 中國(guó)人也造不出EUV（極紫外光刻）能力！”三年后的今天 ， 同樣是日本媒體《日經(jīng)亞洲》卻報(bào)道稱(chēng) ， 中國(guó)很有可能成為繼荷蘭和日本之后 ， 全球第三個(gè)能自己造全套光刻機(jī)的國(guó)家。
【短短3年，日媒改口了：中國(guó)將成為第三個(gè)能自己造光刻機(jī)的國(guó)家】從斬釘截鐵的“不可能”到審慎評(píng)估的“很有可能” ， 這180度的態(tài)度轉(zhuǎn)變背后 ， 是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在高壓下迸發(fā)出的驚人能量：我們不僅能造光刻機(jī) ， 未來(lái)還能造出更先進(jìn)的光刻機(jī) 。

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