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打通12英寸晶圓物流“大動脈”：新施諾2025灣芯展獲卓越企業獎！

物流自動化半導體灣芯展

打通12英寸晶圓物流“大動脈”：新施諾2025灣芯展獲卓越企業獎！

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打通12英寸晶圓物流“大動脈”：新施諾2025灣芯展獲卓越企業獎！
2025年10月15日-17日 ， 2025灣區半導體產業生態博覽會（灣芯展）在深圳會展中心隆重舉辦 。 蘇州新施諾半導體設備有限公司攜自主研發的AMHS天車系統亮相灣芯展 ， 現場展示OHT（天車系統）真實運行效果 。
本屆灣芯展 ， 新施諾榮獲“2025‘灣芯獎’之卓越企業獎” ， 該獎項在深圳市人民政府、深圳市發展和改革委員會、中國國際工程咨詢有限公司的指導下 ， 由行業領袖、權威學者及資深專家組成專業評審委員會 ， 結合專業觀眾公開投票綜合評選 。
（新施諾榮獲“2025‘灣芯獎’之卓越企業獎”）
AMHS天車：晶圓制造廠物流升級的關鍵隨著晶圓制造工藝向更高制程（如14nm以下節點）和更大尺寸（12英寸成為主流）演進 ， 晶圓廠對自動化物料搬運系統（Automatic Material Handling System ， AMHS）的需求大幅上升 ， 對物流系統的效率、精度和穩定性要求達到前所未有的高度 。
屠杰在演講中指出：\"12英寸晶圓廠已成為行業主流 ， 其生產規模大、工藝復雜、對良率敏感性高 ， 對AMHS天車系統提出了極致要求 。 \"
（銷售副總經理屠杰在展會期間發表主題演講）
針對12英寸晶圓廠在物流系統方面高潔凈度、高穩定性、高效率傳送、高復雜度、低振動以及全自動化系統對接的需求 ， OHT系統憑借其卓越的性能 ， 正成為晶圓制造廠物流自動化方案的核心 。
數據顯示 ， 在12英寸晶圓制造過程中 ， 單片晶圓需在數百臺設備間流轉 ， 經歷上千道工序 ， 單次生產周期中晶圓傳輸里程超20公里；整廠OHT軌道總長超50公里 ， 每日需完成50萬次以上運輸任務 ， 其復雜性堪比都市交通系統 。OHT系統已從輔助工具升級為晶圓廠的“神經網絡” ， 任何一次宕機都可能導致整廠停產 ， 造成巨大經濟損失 。
屠杰指出：為打破高端半導體制造裝備長期依賴進口的局面 ， 新施諾毅然肩負起OHT系統國產化的重任 ， 目前已成功打造出高性能OHT解決方案 ， 其OHT小車的技術規格已達到非常高的水準：
·速度與加速度：直線最高速度可達5.3m/s ， 轉彎最大速度可達1.0m/s ， 加速度、減速度分別可達2m/s2、3m/s2；
·負載能力：標準負載能力為15kg（可定制最大負載50kg） ， 可兼容標準的300mmFOUP、FOSB ， 200mmSMIF POD、CST ， PLP600mm FOUP等載具；
·定位精度：重復定位精度可達±1mm ， 確保與工藝設備端口（Load Port）的精準對接；

·可靠性：平均無故障時間（MTBF）在2000小時以上 ， 系統可用性（Uptime）高達99.999%；

·潔凈度：可在Class10的潔凈環境中運行 。
在本次灣芯展現場 ， 新施諾展示了AMHS天車系統的實際運行場景 ， 吸引了眾多專業觀眾駐足觀摩 。 參觀者可近距離觀看OHT天車在軌道上的精準運行、晶圓載具的自動裝卸等關鍵環節 ， 直觀感受智能物流裝備的技術實力與創新成果 。
OHT系統是一個復雜的軟硬件集成系統 ， 除了硬件系統 ， 還有計算機集成制造系統（CIM） 。 新施諾在展位上也展示了OHT系統的軟件控制界面 ， 包括物料搬送控制系統MCS、3D數字孿生系統DTS等核心功能 ， 為行業同仁提供了直觀的國產化解決方案參考 。

AMHS國產化實踐：從技術突破到行業引領晶圓制造廠的物流系統是一項投資龐大、技術繁雜、周期漫長的系統性項目 ， 面臨著技術與管理規劃的嚴峻考驗 。 目前 ， AMHS國產化仍面臨技術壁壘高、整廠部署驗證難、復合型人才稀缺及核心零部件供應鏈危機等多重挑戰 。
當前國產AMHS推廣的最大障礙之一 ， 是缺乏大規模實際生產環境中的驗證案例和現場運行數據 。 同時 ， 精密電機、高性能驅動器、關鍵控制器等核心元器件仍嚴重依賴進口 ， 供應鏈安全面臨挑戰 ， 復合型技術人才的儲備也亟待加強 。
面對挑戰 ， 新施諾以“聚焦關鍵痛點 ， 打造比較優勢”為核心戰略 ， 走出了一條務實而高效的破局之路 。 在技術創新方面 ， 新施諾已實現OHT輕量化設計迭代 ， 并在控制器架構、技術路線及操作系統選擇上形成了獨特優勢 ， 致力于打造更加穩定、高效、可控的國產天車系統 。
在生態建設上 ， 新施諾始終堅持開放合作的理念 ， 通過供應鏈聯盟 ， 深化與集成商的協同合作 ， 推進戰略合作與產業安全布局 ， 實現資源共享、風險共擔、共同驗證 ， 推動公司和全行業的進階 。
截至目前 ， 新施諾已成功在國內多個12英寸及8英寸晶圓廠完成AMHS系統的交付與部署 。 公司不僅提供高性能硬件設備 ， 更通過自主研發的軟件系統 ， 實現對物流任務的智能調度、實時監控與高效管理 ， 全面保障系統穩定運行 ， 賦能晶圓廠實現物流系統的智能化升級 。
【打通12英寸晶圓物流“大動脈”：新施諾2025灣芯展獲卓越企業獎！】在12英寸先進制程晶圓廠這一戰略高地 ， AMHS的國產化已不僅是技術能力的體現 ， 更是保障半導體產業鏈安全與自主可控的重要基石 。 展望未來 ， 新施諾將繼續堅持長期主義 ， 以客戶為中心 ， 用創新技術賦能智能制造 ， 助力中國半導體產業高質量發展！

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