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7納米光刻機 中國首臺7納米光刻機

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2018年全年 ， ASML生產了18臺光刻機 ， 2019年將生產30臺 ， 其中18臺已經被臺積電購買 ， 我國大陸的中芯國際有1臺 。

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ASML壟斷了光刻機市場 ASML（阿斯麥）是荷蘭一家非常低調的大佬級企業 ， 主營光刻機 ， 尤其是芯片級的EUV（極紫外光刻機） ， 只有ASML能夠生產7nm的UEV光刻機 ， 壟斷了全球80%的光刻機市場 。
ASML的光刻機非常昂貴 ， 單臺售價高達1.2億美元 ， 關鍵是產量有限 ， 需要提前預定 ， EUV光刻機包含了5萬多個零件 ， 從下單到正式交貨 ， 需要21個月 。2017年是中芯國際成功預定一臺7nm的EUV光刻機 ， 預計今年能夠成為到貨 。
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為什么中國大陸很難購買？ 我國為了能夠購買一臺先進的ASML光刻機 ， 可以說是費盡周折 ， 即便有錢也很難購買 ， 為什么呢？
原因1：ASML獨特的合作模式
ASML有一個非常奇特的規定 ， 只有投資了ASML ， 才能獲得優先供貨權 ， 也就是所謂的“抱團” ， 這種合作模式給ASML提供了大量的資金 ， 包括英特爾、三星、臺積電、海力士等在ASML中都有可觀的股份 ， 也可以說全球大半個半導體行業都是ASML的合作伙伴 。這也就能夠解釋為什么臺積電能夠優先購買EUV光刻機 ， 而且一買就是18臺 ， 而我國大陸排隊兩年 ， 還沒等到最新的7nm EUV光刻機 。
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原因2：《瓦森納協定》禁運
《瓦森納協定》又稱為瓦森納安排機制 ， 由美國、日本、英國、荷蘭等40個成員國 ， 限制向某些國家出口敏感產品和技術許可 ， 這個“安排機制”受到了美國的控制 ， 而被禁運的名單中就包括我國大陸 。如捷克擬向我國出口“無源雷達設備”時 ， 就遭到了美國向捷克施壓 ， 被迫停止了交易 。
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根據瓦森納的協定 ， 要求滿足國外和國內技術相差1.5倍 ， 才可以解除禁運 。AMSL向我國開放7nm EUV光刻機時 ， ASML已將在生產5nm光刻機了 ， 我國的半導體制造工藝仍然落后一代以上 。
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