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1月8日消息 , 特斯拉和SpaceX CEO埃隆·馬斯克近日在接受Moonshots采訪時確認 , 特斯拉將建立自己的2nm晶圓廠 。 但是他認為 , 當前芯片制造行業建造潔凈室的方式是錯誤的 。
馬斯克表示:“我敢打賭 , 特斯拉將會擁有一座2nm晶圓廠 , 而且我能在晶圓廠里面一邊吃芝士漢堡、一邊抽雪茄 。 ”
當被主持人問及馬斯克是否在腦海中構思過特斯拉的制造工廠 , 以及他是否找到了保護硅晶圓免受漢堡油脂污染的方法時 , 他回答說 , 所有晶圓都應該始終處于密封狀態 。 “他們會一直保持晶圓制造整個過程處于隔離狀態 , 這其實是四代晶圓廠的默認設置 , 晶圓運輸時都裝在充滿氮氣的箱子里 , 保持微正壓環境” , 馬斯克說道 。
現代晶圓廠是一個大型的、一體化的制造設施 , 包括超潔凈的生產潔凈室(用于晶圓加工);設有真空泵、氣體處理和排氣系統;用于維護和公用設施的專用工具服務走廊;集中式化學品輸送和廢物管理基礎設施;以及用于行政工作、工程和監控的辦公和控制區域 。
同時 , 潔凈室本質上是晶圓廠建筑內的獨立單元 , 因為它們與晶圓廠外殼的其他部分完全隔離 。 潔凈室的潔凈度由ISO 等級標準規定 , 該標準定義了不同粒徑的顆粒每立方米空氣中的顆粒數量 。 例如 , ISO 1 級潔凈室每立方米空氣中最多允許 10 個 ≥0.1 μm 的顆粒和 2 個更大的顆粒;而 ISO 2 級潔凈室每立方米空氣中最多允許 100 個 ≥0.1 μm 的顆粒和 38 個更大的顆粒 。 晶圓制造最關鍵的操作——例如 EUV 或 DUV 光刻曝光或先進的柵極形成——都在 ISO 1 級和 2 級潔凈室中進行 。 相比之下 , ISO 3 級潔凈室每立方米空氣中最多允許 1000 個 ≥0.1 μm 的顆粒 , 這仍然比典型的晶圓廠環境潔凈得多 , 并且通常用于對潔凈度要求不高的操作的先進晶圓廠 。
顯然 , 當前在光刻等核心環節所需的ISO 1-3級潔凈室環境中吸煙或吃漢堡是絕對禁止的 , 因為這會產生數億甚至數十億的微粒 。 事實上 , 人類一次呼吸就會產生數百萬個微粒以及水分 , 更不用說細菌或病毒等有機污染物了 。 因此 , 即使晶圓和設備隔離措施完美無缺 , 人類呼吸(更不用說煙霧或食物顆粒)仍然會影響環境 , 進而影響超靈敏的EUV光刻鏡 , 甚至可能影響晶圓廠的化學工藝 。
由于污染控制和安全要求 , 工廠其他區域也禁止飲食和吸煙 。 理論上 , 馬斯克可以在辦公區域吃漢堡、抽雪茄 , 即使在今天 , 這也不是不可能 。 不過 , 大多數辦公樓里本來就禁止吸煙 。
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【馬斯克確認:將建2nm晶圓廠!但他想在里面抽雪茄、吃漢堡!】編輯:芯智訊-浪客劍
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